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| 劉學(xué)峰 |
千人計(jì)劃特聘專家，南京理工大學(xué)電子工程與光電技術(shù)學(xué)院教授，博士生導(dǎo)師。同時(shí)任職紫金特聘教授、IEEE會(huì)員、OE雜志副主編、移動(dòng)互聯(lián)網(wǎng)雜志編委。 曾組織參與世界光通信器件公司Bookham核心項(xiàng)目研發(fā)、集成電路光刻機(jī)廠家ASML光學(xué)成像部世界前沿機(jī)型研發(fā)。近年注重參與重大專項(xiàng)、組織973和基金重大儀器專項(xiàng)申請(qǐng)等并已獲得江蘇省雙創(chuàng)團(tuán)隊(duì)項(xiàng)目。國(guó)內(nèi)外多年研發(fā)中共設(shè)計(jì)制作了15個(gè)大型光學(xué)測(cè)量和波前控制系統(tǒng)，擁有大量知識(shí)產(chǎn)權(quán)其中包括15項(xiàng)。同時(shí)在光刻工程、光通信器件、光波前控制器件與系統(tǒng)、納米和亞納米級(jí)光波前偏差、物質(zhì)結(jié)構(gòu)和形貌檢測(cè)等方面發(fā)表文章50多篇。 研究方向：光柵掩模設(shè)計(jì)、電子束刻與光刻工藝等領(lǐng)域 |
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